Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD

特点：

IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。

它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。

汉钟独特型线设计，上海，台湾，制造。

较之前的版本节能25%，配置有省电模式。

带有加热系统避免制程物沉积。

优化的尺寸，即插即用。